蓝宝石上硅压力传感器技术



准确可靠的压力测量的秘密…

压力测量是数千个行业中许多应用程序的重要组成部分。过程在压力范围,温度和介质不同,它可能很难知道为您的应用选择什么样的传感器技术,但它是至关重要的得到它的正确!这就是应急服务国际公司提供高质量解决方案的原因。

见到SOS技术!

蓝宝石上硅传感器技术通过一系列高标准的产品纳入我们的产品组合,但它是什么,我们为什么使用它?爱游戏ayx亚洲

硅和蓝宝石的组合提供了一个非常耐用的传感器。因为硅生长在蓝宝石的表面,所以它非常稳定,几乎没有滞后。由于其出色的绝缘性能,蓝宝石保护应变计免受电磁脉冲辐射,并允许传感器在非常宽的温度范围内工作而不损失性能。它能承受高过压和提供卓越的抗腐蚀能力。蓝宝石优异的弹性确保了高重复性,这是传感器非常理想的特性。

使用这种传感器的优点是显著的;

  • 钛压力膜片是焊接到钛螺纹压力端口,因此没有o形环密封
  • 精度高
  • 抗超压(耐压)和压力瞬变能力强
  • 优良的耐化学性
  • 在高温下稳定
  • 高灵敏度10mV/V至20mV/V
  • 从-1巴到5000bar的压力
  • 构造使用机加工钛零件
  • 高压HP范围是机械从一个单一的钛片

这个超级传感器是怎么制造出来的?

这个超级传感器是怎么制造出来的?蓝宝石上硅晶片是在非常高的温度下将硅沉积在蓝宝石衬底上形成的。天然的蓝宝石往往含有杂质,所以非常纯净的蓝宝石晶体是在受控的实验室环境中生长的。成型的蓝宝石锭以57°角切割。这就是所谓的r平面。这个平面显示了晶体中的氧原子,由于这些原子的间距几乎与硅晶体的间距相同,硅可以干净地沉积在蓝宝石晶片的表面上。

掺杂硅应变片是从硅层上蚀刻出来的,蓝宝石衬底出色的绝缘特性使单个应变片彼此电隔离。在高温下工作的能力,化学惰性,和几乎没有滞后,使应变计的理想应用于压力传感器。

使用蓝宝石上硅的传感技术可以获得<0.2%的良好的长期稳定性,也比非sos键合硅传感器具有重大优势。在制造过程中形成的硅惠斯通电桥不存在任何可能增加迟滞和不可重复性误差的残余应力,从而降低长期稳定性。感应元件和蓝宝石衬底之间不存在可能老化和引起不稳定性的粘结剂。

一切开始的地方……

一切开始的地方1963年在北美航空公司(现在的波音公司)进行的一项非常实用的实验导致了SOS的发现。一块蓝宝石晶体被打磨成球形,然后浸入一种含有硅的气体中。一个球面会暴露出晶体系统中存在的所有平面。发现硅生长在球体上的某些位置,这些位置被确定为对应于蓝宝石的R平面。在20世纪60年代中期,研究人员致力于将sos转变为一种可制造的技术。它的主要应用是用于辐射硬电路,但很快人们就发现,sos的其他好处也可以用于商业用途。

更进一步的突破是加州理工学院和惠普公司在1978年开发的超薄sos薄膜。一种叫做SPER(固相外延再生长)的工艺被开发出来,直到1990年S.O.S第一次商业化的阶段。

蓝宝石上硅现在是一种优越的压力传感技术,在大容量应用中得到了更广泛的接受。爱游戏让球

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