蓝宝石上硅压力传感器技术

蓝宝石上硅传感器技术重新定义了ESI产品的性能。爱游戏ayx亚洲

蓝宝石衬底优异的弹性特性为制造压力传感器提供了完美的平台，在其上没有可测量的迟滞和卓越的重复性。

测量敏感元件由硅压阻式应变计微电路组成。单晶硅与蓝宝石衬底形成强分子键，蓝宝石衬底通过高温扩散过程与坚固的钛合金压力膜片连接。蓝宝石优异的绝缘性能允许传感器在很宽的温度范围内工作而不损失性能。

与所有钛浸湿部件相结合，该传感器提供了无与伦比的性能，高压和优良的化学相容性。

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