精确可靠的压力测量的秘密…

压力测量是数千个行业中许多应用的重要组成部分。过程因压力范围、温度和介质而异，可能很难知道为您的应用选择哪种传感器技术，但正确使用它是至关重要的!这就是ESI提供高质量解决方案的地方……

认识SOS技术!

蓝宝石上硅传感器技术通过一系列高标准产品被纳入到我们的产品组合中，但它是什么?我们为什么要使用它?爱游戏ayx亚洲

硅和蓝宝石的组合提供了一个非常耐用的传感器。由于硅生长在蓝宝石表面，它非常稳定，几乎没有迟滞现象。由于其优异的绝缘性能，蓝宝石可以保护应变计免受电磁脉冲辐射的影响，并允许传感器在非常宽的温度范围内工作而不损失性能。它可以承受高压，并提供极好的耐腐蚀性。蓝宝石的优异弹性确保了高重复性，这是传感器非常理想的特性。

使用这种传感器的优点是显著的;

• 钛压力膜片焊接到钛螺纹压力端口，因此没有o形环密封
• 精度高
• 高抗超压(耐压)和压力瞬变
• 优异的耐化学性
• 高温下稳定
• 灵敏度高10mV/V ~ 20mV/V
• 压力从- 1bar到5000bar
• 用机械加工的钛部件建造的
• 高压高压范围是机械从一个单一的一块钛
  
  

这个超级传感器是如何制造出来的?

蓝宝石上硅晶圆是通过在非常高的温度下将硅沉积到蓝宝石衬底上而形成的。天然蓝宝石往往含有杂质，所以非常纯的蓝宝石晶体是在受控的实验室环境中生长出来的。形成的蓝宝石锭被切割成57°角。这被称为r平面。这个平面显示了晶体中的氧原子，因为这些原子的间距几乎与硅晶体中的相同，硅可以干净地沉积在蓝宝石晶片的表面。

掺杂硅应变片由硅层蚀刻而成，各个应变片通过蓝宝石衬底的杰出绝缘特性相互电隔离。在高温下工作的能力，化学惰性，以及几乎没有迟滞使应变片非常适合用于压力传感器。

采用蓝宝石上硅传感技术可获得<0.2%的优异长期稳定性，并且与非sos键合硅传感器相比具有主要优势。在制造过程中形成的硅惠斯顿电桥没有任何残余应力，这些残余应力可能会增加迟滞和不可重复性误差，从而降低长期稳定性。传感元件和蓝宝石衬底之间没有可能老化和导致不稳定的粘结剂。

一切开始的地方…

1963年北美航空公司(现在的波音公司)的一个非常实际的实验导致了SOS的发现。一块蓝宝石晶体被打磨成球形，并浸泡在含硅气体中。一个球面会暴露出晶体系统中存在的所有平面。发现硅生长在球体上的某些位置，这些位置与蓝宝石的R面相对应。在20世纪60年代中期，研究人员致力于将sos转化为一种可制造的技术。它的主要应用是用于辐射硬电路，但很快就发现S.O.S的其他好处也可以用于商业用途。

1978年，加州理工学院与惠普公司共同开发了超薄S.O.S薄膜，这是进一步的突破。一种称为SPER(固相外延再生长)的工艺被开发出来，直到1990年S.O.S首次实现商业化。

蓝宝石上的硅现在是高级的压力传感技术，并在更大规模的应用中获得更广泛的接受。爱游戏让球